Наукова періодика України Вісник Київського політехнічного інституту


Воронов С. О. 
Дослідження тонких плівок сегнетоелектриків на кремнієвій підкладці / С. О. Воронов, О. Т. Богорош, С. О. Муравов, Н. О. Гордійко // Вісник Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут". Серія : Приладобудування. - 2015. - Вип. 50. - С. 84-92. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/VKPI_prylad_2015_50_14
Зазначено, що основним матеріалом, що використовується у сегнетоелектричних транзисторах і конденсаторах для формування енергонезалежної пам'яті, є змішані поліметалічні оксиди, зокрема, - сімейство Pb(ZrxTi1-x)O3 (PZT). До основи PZT можуть додаватися легуючі добавки різних металів та їх оксидів, невеликі домішки яких істотно впливають на властивості PZT. Тривають пошуки матеріалів з найкращими властивостями для створення конденсаторів і транзисторів на базі феромагнітних сегнетоелектриків. Мета роботи - розробка методики формування й вимірювання електрофізичних властивостей сегнетоплівок на основі складних оксидів PbTiO3, нанесених на кремнієву підкладку, як реєструвальних середовищ носіїв інформації для зовнішніх пристроїв пам'яті. Запропоновано методику формування та вимірювання плівок PbTiO3, нанесених на диски з монокристалічного кремнію Si (100). Рентгенографічні й електронно-мікроскопічні дослідження показали, що ці плівки характеризуються обмеженою текстурою зі структурою перовськіту. Показано можливість використання одержаних плівок як реєструвальних середовищ для енергонезалежних перезаписуваних носіїв інформації.
  Повний текст PDF - 388.964 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Воронов С.
  • Богорош О.
  • Муравов С.
  • Гордійко Н.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Воронов С. О. Дослідження тонких плівок сегнетоелектриків на кремнієвій підкладці / С. О. Воронов, О. Т. Богорош, С. О. Муравов, Н. О. Гордійко // Вісник Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут". Серія : Приладобудування. - 2015. - Вип. 50. - С. 84-92. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/VKPI_prylad_2015_50_14.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Воронов Сергій Олександрович (технічні науки)
  • Богорош Олександр Терентійович (технічні науки)
  • Гордійко Наталія Олександрівна (технічні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського