Наукова періодика України | Вісник Київського політехнічного інституту | ||
Білокінь С. О. Визначення фізико-механічних характеристик поверхонь виробів наноелектроніки методом склерометрії / С. О. Білокінь // Вісник Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут". Сер. : Приладобудування. - 2013. - Вип. 46. - С. 112-117. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/VKPI_prylad_2013_46_18 Показано перспективність методу атомно-силової мікроскопії, як єдиного методу дослідження мікрогеометричних параметрів та фізико-механічних характеристик (в нанометровому діапазоні) в одному циклі сканування за допомогою кремнієвого зонду, модифікованого вуглецевим покриттям. Описано методику та наведено дослідження мікротвердості та зносостійкості тонких покриттів SiO Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Білокінь С. О. Визначення фізико-механічних характеристик поверхонь виробів наноелектроніки методом склерометрії / С. О. Білокінь // Вісник Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут". Сер. : Приладобудування. - 2013. - Вип. 46. - С. 112-117. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/VKPI_prylad_2013_46_18.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |