В результате исследования полирования монокристаллических материалов показано, что полирование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов из монокристаллов карбида кремния целесообразно осуществлять с использованием полировочной суспензии порошков на основе МАХ-фазы Ti3AlC2 и коллоидных систем наночастиц, а монокристаллов сапфира - с помощью суспензии из алмазных микропорошков, порошков кубического нитрида бора и MAX-фазы Ti3AlC2. Нанополирование поверхностей элементов монокристаллов сапфира следует осуществлять при использовании коллоидной системы наночастиц или традиционных составов на основе коллоидного диоксида кремния. Показано также, что производительность полировки монокристаллов карбида кремния и сапфира обратно пропорциональна энергии переноса, максимальное значение которой соответствует минимальной шероховатости.

  Повний текст PDF - 924.295 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"