Наукова періодика України | Вісник Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут" | ||
Филатов Ю. Д. Нанополирование подложек для оптики и микроэлектроники / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, О. Я. Юрчишин // Вісник Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут". Серія : Машинобудування. - 2016. - № 1. - С. 133-138. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/VKPI_mash_2016_1_20 В результате исследования полирования монокристаллических материалов показано, что полирование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов из монокристаллов карбида кремния целесообразно осуществлять с использованием полировочной суспензии порошков на основе МАХ-фазы Ti Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Филатов Ю. Д. Нанополирование подложек для оптики и микроэлектроники / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, О. Я. Юрчишин // Вісник Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут". Серія : Машинобудування. - 2016. - № 1. - С. 133-138. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/VKPI_mash_2016_1_20.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |