Наукова періодика України Вісник Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут"

Salenko O. 
About some results of processing SiC-microarrays by hydroabrasive precision jet / O. Salenko, G. Gabuzyan, Y. Myronov, V. Nikitin // Вісник Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут". Сер. : Машинобудування. - 2013. - № 67. - С. 174-179. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/VKPI_mash_2013_67_29
Выполнены разрезания SiO-микрочипов на отдельные элементы с помощью струи высокого давления с мелкодисперсным абразивом. Доказана возможность использования струи малого диаметра для выполнения точных резов микрочипов как из твердых так и хрупких материалов. Использование функционального подхода позволило уменьшить ширину повреждения металлизации. Предложен оригинальный способ гидроабразивной резки с применением щелевых масок. Использование таких масок значительно повышает качество и точность кромок разрезанного чипа.
  Повний текст PDF - 1.742 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Salenko O.
  • Gabuzyan G.
  • Myronov Y.
  • Nikitin V.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Salenko O. About some results of processing SiC-microarrays by hydroabrasive precision jet / O. Salenko, G. Gabuzyan, Y. Myronov, V. Nikitin // Вісник Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут". Сер. : Машинобудування. - 2013. - № 67. - С. 174-179. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/VKPI_mash_2013_67_29.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського