Наукова періодика України Ukrainian journal of physics


Sai P. O. 
Features of the formation of ohmic contacts to n+-InN / P. O. Sai, N. V. Safryuk-Romanenko, D. B. But, G. Cywiński, N. S. Boltovets, P. N. Brunkov, N. V. Jmeric, S. V. Ivanov, V. V. Shynkarenko // Ukrainian journal of physics. - 2019. - Vol. 64, № 1. - С. 56-62. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Ukjourph_2019_64_1_10
Досліджено механізми струмоперенесення та формування омічних контактів до n<^>+-InN із рівнями легування 2 x 10<^>18, 8 x 10<^>18 і 4 x 10<^>19 см<^>-3. Омічні контакти Pd/Ti/Au були сформовані в процесі магнетронного напилення металу за одночасного використання температурної обробки, що надало можливість отримати низький питомий контактний опір <$E (4,20~symbol С~2,67)~cdot~10 sup -6> Ом-см<^>2. Для покращання властивостей отриманих омічних контактів підтверджено можливість використання додаткових швидких термічних обробок в інтервалі температур 350 - 400 <^>oC, при цьому оптимальні параметри температурної обробки визначено за допомогою статистичного аналізу даних. Щодо встановлення механізму струмоперенесення через інтерфейс "метал - InN", спостерігалося нетипове зростання питомого контактного опору в широкому діапазоні температур 4,2 - 380 K у випадках усіх досліджених рівнів легування плівок InN. Пояснено механізм струмоперенесення на основі протікання струму через металеві шунти, спряжені з дислокаціями в плівках InN. Аналітично оцінеіо значення густини провідних металевих шунтів на основі модельних уявлень добре узгоджуються з експериментальними значеннями густин гвинтових і краєвих дислокацій, експериментально отриманих за допомогою високороздільної рентгенівської дифракції. З отриманих температурних залежностей питомого контактного опору зроблено висновки про тип металу, який проникає в дислокації і формує металеві шунти.
  Повний текст PDF - 996.229 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Sai P.
  • Safryuk-Romanenko N.
  • But D.
  • Cywiński G.
  • Boltovets N.
  • Brunkov P.
  • Jmeric N.
  • Ivanov S.
  • Shynkarenko V.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Sai P. O. Features of the formation of ohmic contacts to n+-InN / P. O. Sai, N. V. Safryuk-Romanenko, D. B. But, G. Cywiński, N. S. Boltovets, P. N. Brunkov, N. V. Jmeric, S. V. Ivanov, V. V. Shynkarenko // Ukrainian journal of physics. - 2019. - Vol. 64, № 1. - С. 56-62. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Ukjourph_2019_64_1_10.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Бут Дмитро Борисович (фізико-математичні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського