Estimation of the efficiency of material injection into the reflex discharge by sputtering the cathode material

Kovtun, Yu. V.; Skibenko, E. I.; Skibenko, A. I.; Yuferov, V. B.


	Наукова періодика України		Ukrainian journal of physics

Kovtun Yu. V.
Estimation of the efficiency of material injection into the reflex discharge by sputtering the cathode material / Yu. V. Kovtun, E. I. Skibenko, A. I. Skibenko, V. B. Yuferov // Ukrainian journal of physics. - 2012. - Vol. 57, № 9. - С. 901-908. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Ukjourph_2012_57_9_4

Повний текст PDF - 655.294 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Kovtun Yu. V. Estimation of the efficiency of material injection into the reflex discharge by sputtering the cathode material / Yu. V. Kovtun, E. I. Skibenko, A. I. Skibenko, V. B. Yuferov // Ukrainian journal of physics. - 2012. - Vol. 57, № 9. - С. 901-908. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Ukjourph_2012_57_9_4.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Скібенко Євген Іванович (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача