Мішень із спеченого композита Ti13Cu87 реактивно розпорошено в Ar - N2 атмосфері, і розпорошену речовину осаджено на Si(111) підкладки. Досліджено залежну від тиску зміну режиму розпилення для Ti13Cu87 - N2 системи шляхом вимірювання парціального тиску N2, швидкості осадження, напруги на мішені та концентрацій Ti та Cu для різних інтенсивностей реактивного газового потоку N2. Поверхня Ti13Cu87 мішені починає азотуватися із зростанням інтенсивності потоку молекул азоту. Азотування зумовлено абсорбцією та впровадженням молекул азоту на поверхні Ti13Cu87 мішені. Отже, швидкість осадження зменшується завдяки зниженню виходу розпилення та більшому розсіянню за транспортування речовини від мішені до підкладки. Вихід вторинної електронної емісії з азотованої поверхні мішені є більшим, ніж без азотування. Тому за сталої потужності розпилення напруга на мішені зменшується у разі збільшення парціального тиску азоту. Розраховано коефіцієнти відбиття нейтральних частинок за допомогою методу TRIM.SP Монте-Карло. Початкові енергії відображених нейтральних і розпорошених частинок поблизу підкладки оцінено, відповідно, в межах простої моделі бінарних зіткнень і з середніми зваженими з розподілом. Кінцеві енергії залежать від дисипації енергії у разі проходження крізь газове середовище. Відомі з літератури дані за енергетичними та кутовими характеристиками розпилення використано для передбачення складу плівок.

  Повний текст PDF - 442.938 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"