В обзоре систематизированы результаты теоретических и экспериментальных исследований транспортных размерных эффектов в многослойной пленке с поликристаллической структурой, кинетические характеристики которой существенно отличаются от соответствующих характеристик массивных металлов и тонких металлических пленок. Основной причиной такого отличия является взаимодействие носителей заряда с интерфейсами и с межкристаллитными границами мультислоя. Указанное взаимодействие приводит к дополнительному рассеянию носителей заряда, и численные транспортные коэффициенты могут быть как значительно больше, так и меньше по сравнению с соответствующими коэффициентами однородных пленок, а размерные зависимости кинетических коэффициентов в многослойной пленке являются немонотонными. Рассмотренные в обзоре эффекты могут быть использованы не только для анализа транспортных коэффициентов в многослойной поликристаллической пленке, но и в мультислое с монокристаллической структурой, а при учете формального соответствия между мультислоем и двухслойной пленкой - также в двухслойных пленках с моно- и поликристаллической структурами.

  Повний текст PDF - 893.107 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"