Наукова періодика України | Progress in Physics of Metals | ||
Шпак А. П. Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением / А. П. Шпак, О. В. Соболь, Ю. А. Куницкий // Успехи физики металлов. - 2008. - Т. 9, № 3. - С. 357-370. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhM_2008_9_3_5 Проанализированы закономерности формирования структурно-фазового состояния конденсатов, полученных ионным распылением. Установлено, что все многообразие выявляемых структурных форм и фазовых состояний в осаждаемых материалах можно описать единым механизмом конденсации при разной степени неравновесности процесса. Степень неравновесности уменьшается с повышением температуры осаждения. Предложен механизм формирования конденсата из ионно-плазменных потоков, который включает два основных процесса: приповерхностную имплантацию, сопровождающуюся перемешиванием для высокоэнергетических осаждаемых частиц, и конденсацию низкоэнергетических частиц, при которой, в зависимости от температуры осаждения, проходится последовательность структурных состояний: аморфно-кластерное - кристаллическое <$E beta>-метастабильной фазы - кристаллическое <$E alpha>-стабильной фазы. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Шпак А. П. Закономерности формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением / А. П. Шпак, О. В. Соболь, Ю. А. Куницкий // Успехи физики металлов. - 2008. - Т. 9, № 3. - С. 357-370. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhM_2008_9_3_5.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |