![]() | Наукова періодика України |
| Український фізичний журнал |
Bilanych B. V. Interaction of chalcogenide As4Se96 films with electron beam when used as electronic resists / B. V. Bilanych, O. Shylenko, V. M. Latyshev, A. Feher, V. S. Bilanych, V. M. Rizak, V. Komanicky // Український фізичний журнал. - 2020. - Т. 65, № 3. - С. 245-251. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2020_65_3_10 Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Bilanych B. V. Interaction of chalcogenide As4Se96 films with electron beam when used as electronic resists / B. V. Bilanych, O. Shylenko, V. M. Latyshev, A. Feher, V. S. Bilanych, V. M. Rizak, V. Komanicky // Український фізичний журнал. - 2020. - Т. 65, № 3. - С. 245-251. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2020_65_3_10. |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||