Наукова періодика України Український фізичний журнал


Bilanych B. V. 
Interaction of chalcogenide As4Se96 films with electron beam when used as electronic resists / B. V. Bilanych, O. Shylenko, V. M. Latyshev, A. Feher, V. S. Bilanych, V. M. Rizak, V. Komanicky // Український фізичний журнал. - 2020. - Т. 65, № 3. - С. 245-251. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2020_65_3_10
  Повний текст PDF - 875.489 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Bilanych B.
  • Shylenko O.
  • Latyshev V.
  • Feher A.
  • Bilanych V.
  • Rizak V.
  • Komanicky V.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Bilanych B. V. Interaction of chalcogenide As4Se96 films with electron beam when used as electronic resists / B. V. Bilanych, O. Shylenko, V. M. Latyshev, A. Feher, V. S. Bilanych, V. M. Rizak, V. Komanicky // Український фізичний журнал. - 2020. - Т. 65, № 3. - С. 245-251. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2020_65_3_10.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського