Розглянуто оптичні властивості перехідного порушеного шару на поверхні оптичного скла. Найчастіше поверхні оптичних елементів вважають ідеальними, хоча для точних фізичних експериментів чи новітніх технологічних задач реальна неоднорідна структура поверхні може мати суттєвий вплив. До того ж, моделювання будови поверхневого шару, його оптичних характеристик і дослідження питання про можливість їх знаходження за результатами оптичних досліджень становлять і теоретичний інтерес, що й з'ясовувано у даній роботі. Проведено еліпсометричні вимірювання зразків оптичного скла, що містять порушений шар. Для моделювання кутових залежностей еліпсометричних параметрів tan(<$E psi>) і cos(<$E DELTA>) приповерхневу область зразка представляли як послідовність 500 тонких шарів і застосовували матричний метод розрахунку відбивання світла такою структурою із врахуванням явища інтерференції. Взято 5 моделей оптичного профілю неоднорідного шару, параметри яких оптимізували до досягнення мінімального значення цільової функції відхилення між розрахованими та виміряними даними. Встановлено, що теоретичні моделі з врахуванням неоднорідного шару точніше описують оптичні властивості зразків, але все ж розв'язок оберненої задачі еліпсометрії не є однозначним. І хоча для остаточного вибору моделі, адекватної реальній морфологічній будові порушеного шару, необхідні додаткові вимірювання, ключова перевага використаного методу полягає в тому, що він безпосередньо забезпечує реєстрацію саме оптичного відгуку системи.Розглянуто оптичні властивості перехідного порушеного шару на поверхні оптичного скла. Найчастіше поверхні оптичних елементів вважають ідеальними, хоча для точних фізичних експериментів чи новітніх технологічних задач реальна неоднорідна структура поверхні може мати суттєвий вплив. До того ж, моделювання будови поверхневого шару, його оптичних характеристик і дослідження питання про можливість їх знаходження за результатами оптичних досліджень становлять і теоретичний інтерес, що й з'ясовувано у даній роботі. Проведено еліпсометричні вимірювання зразків оптичного скла, що містять порушений шар. Для моделювання кутових залежностей еліпсометричних параметрів tan(<$E psi>) і cos(<$E DELTA>) приповерхневу область зразка представляли як послідовність 500 тонких шарів і застосовували матричний метод розрахунку відбивання світла такою структурою із врахуванням явища інтерференції. Взято 5 моделей оптичного профілю неоднорідного шару, параметри яких оптимізували до досягнення мінімального значення цільової функції відхилення між розрахованими та виміряними даними. Встановлено, що теоретичні моделі з врахуванням неоднорідного шару точніше описують оптичні властивості зразків, але все ж розв'язок оберненої задачі еліпсометрії не є однозначним. І хоча для остаточного вибору моделі, адекватної реальній морфологічній будові порушеного шару, необхідні додаткові вимірювання, ключова перевага використаного методу полягає в тому, що він безпосередньо забезпечує реєстрацію саме оптичного відгуку системи.

  Повний текст PDF - 682.931 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"