Наведено результати експериментальних досліджень впливу напруги зміщення на еволюцію спектрів випромінювання плазми під час травлення нітриду галію в плазмохімічному реакторі (ПХР) з керованими магнітними полями. За значень напруги зміщення більших за -250 В на спектрах випромінювання плазми з'являються лінії, що належать збудженим атомам матеріалів, з яких виготовлений робочий електрод. Під впливом від'ємного потенціалу проходить розпилення активного електрода і переосадження іонів металу на поверхню зразка, який обробляється, що призводить до зменшення швидкості травлення.

  Повний текст PDF - 581.659 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"