Плівки ZnO:Al осаджено на кремнієві та скляні підкладки за допомогою методу пошарового осадження в високочастотному магнетронному розпиленні за зміни тиску аргону в камері осадження від 0,5 до 2 Па. Досліджено вплив тиску аргону в камері осадження на структуру, оптичні та електричні властивості плівок ZnO:Al. Встановлено, що збільшення тиску аргону призводить до зниження рухливості електронів у прозорих провідних плівках ZnO:Al та погіршення їх провідних властивостей за рахунок розсіяння на межах зерен. Показано, що збільшення поглинання вільними носіями зі збільшенням тиску аргону призводить до зниження прозорості плівок ZnO:Al у видимій області спектра випромінювання.

  Повний текст PDF - 817.596 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"