Наукова періодика України Український фізичний журнал


Неймаш В. Б. 
Комбінаційне розсіювання світла в процесі індукованої оловом кристалізації аморфного кремнію / В. Б. Неймаш, Г. І. Довбешко, П. Є. Шепелявий, В. А. Данько, В. В. Мельник, М. В. Ісаєв, А. Г. Кузьмич // Український фізичний журнал. - 2016. - Т. 61, № 2. - С. 149-155. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2016_61_2_9
За допомогою методу комбінаційного розсіювання світла різної потужності поверхнею тонкоплівкових структур Si - Sn - Si досліджено процеси індукованої оловом кристалізації аморфного кремнію. Аналіз спектрів комбінаційного розсіювання використано для контролю температури, розміру та концентрації кристалів Si, що утворюються в матриці аморфного Si в процесі вимірювання спектрів. Виявлено значне прискорення металом індукованої кристалізації у процесі лазерного відпалу структур Si - Sn - Si у порівнянні з відпалом у темряві. Показано принципову можливість контролю в режимі "on line" розмірів і концентрації кристалів Si в процесі їх формування.
  Повний текст PDF - 902.975 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Неймаш В.
  • Довбешко Г.
  • Шепелявий П.
  • Данько В.
  • Мельник В.
  • Ісаєв М.
  • Кузьмич А.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Неймаш В. Б. Комбінаційне розсіювання світла в процесі індукованої оловом кристалізації аморфного кремнію / В. Б. Неймаш, Г. І. Довбешко, П. Є. Шепелявий, В. А. Данько, В. В. Мельник, М. В. Ісаєв, А. Г. Кузьмич // Український фізичний журнал. - 2016. - Т. 61, № 2. - С. 149-155. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2016_61_2_9.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Неймаш Володимир Борисович (фізико-математичні науки)
  • Данько Віктор Андрійович (фізико-математичні науки)
  • Ісаєв Микола Вікторович (фізико-математичні науки)
  • Кузьмич Андрій Григорович (фізико-математичні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського