Наукова періодика України | Український фізичний журнал | ||
Неймаш В. Б. Комбінаційне розсіювання світла в процесі індукованої оловом кристалізації аморфного кремнію / В. Б. Неймаш, Г. І. Довбешко, П. Є. Шепелявий, В. А. Данько, В. В. Мельник, М. В. Ісаєв, А. Г. Кузьмич // Український фізичний журнал. - 2016. - Т. 61, № 2. - С. 149-155. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2016_61_2_9 За допомогою методу комбінаційного розсіювання світла різної потужності поверхнею тонкоплівкових структур Si - Sn - Si досліджено процеси індукованої оловом кристалізації аморфного кремнію. Аналіз спектрів комбінаційного розсіювання використано для контролю температури, розміру та концентрації кристалів Si, що утворюються в матриці аморфного Si в процесі вимірювання спектрів. Виявлено значне прискорення металом індукованої кристалізації у процесі лазерного відпалу структур Si - Sn - Si у порівнянні з відпалом у темряві. Показано принципову можливість контролю в режимі "on line" розмірів і концентрації кристалів Si в процесі їх формування. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Неймаш В. Б. Комбінаційне розсіювання світла в процесі індукованої оловом кристалізації аморфного кремнію / В. Б. Неймаш, Г. І. Довбешко, П. Є. Шепелявий, В. А. Данько, В. В. Мельник, М. В. Ісаєв, А. Г. Кузьмич // Український фізичний журнал. - 2016. - Т. 61, № 2. - С. 149-155. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2016_61_2_9.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |