Механізми еволюції поверхні при рості нелегованих нанокремнієвих плівок

Находкін, М. Г.; Родіонова, Т. В.; Сутягіна, А. С.


	Наукова періодика України		Український фізичний журнал

Находкін М. Г.
Механізми еволюції поверхні при рості нелегованих нанокремнієвих плівок / М. Г. Находкін, Т. В. Родіонова, А. С. Сутягіна // Український фізичний журнал. - 2015. - Т. 60, № 2. - С. 166-170. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2015_60_2_12

За допомогою методу атомної силової мікроскопії досліджено вплив товщини нелегованих нанокремнієвих плівок, що одержані за допомогою методу хімічного осадження в реакторі зниженого тиску, на характеристики їх поверхневого мікрорельєфу. Встановлено кореляцію між зростанням розмірів неоднорідностей мікрорельєфу поверхні плівок та зміною типу структури плівок від рівноосьової до волокнистої. Проаналізовано імовірні механізми еволюції поверхні нанокремнієвих плівок.

Повний текст PDF - 809.789 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Находкін М.

Родіонова Т.

Сутягіна А.

Бібліографічний опис для цитування:

Находкін М. Г. Механізми еволюції поверхні при рості нелегованих нанокремнієвих плівок / М. Г. Находкін, Т. В. Родіонова, А. С. Сутягіна // Український фізичний журнал. - 2015. - Т. 60, № 2. - С. 166-170. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2015_60_2_12.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Находкін Микола Григорович (1925–2018) (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача