![]() | Наукова періодика України |
| Український фізичний журнал |
Находкін М. Г. Механізми еволюції поверхні при рості нелегованих нанокремнієвих плівок / М. Г. Находкін, Т. В. Родіонова, А. С. Сутягіна // Український фізичний журнал. - 2015. - Т. 60, № 2. - С. 166-170. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2015_60_2_12 За допомогою методу атомної силової мікроскопії досліджено вплив товщини нелегованих нанокремнієвих плівок, що одержані за допомогою методу хімічного осадження в реакторі зниженого тиску, на характеристики їх поверхневого мікрорельєфу. Встановлено кореляцію між зростанням розмірів неоднорідностей мікрорельєфу поверхні плівок та зміною типу структури плівок від рівноосьової до волокнистої. Проаналізовано імовірні механізми еволюції поверхні нанокремнієвих плівок. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Находкін М. Г. Механізми еволюції поверхні при рості нелегованих нанокремнієвих плівок / М. Г. Находкін, Т. В. Родіонова, А. С. Сутягіна // Український фізичний журнал. - 2015. - Т. 60, № 2. - С. 166-170. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2015_60_2_12. |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||