Наукова періодика України | Український фізичний журнал | ||
Литовченко В. Г. Двоканальне гетерування рекомбінаційно-активної домішки в сонячному полікристалічному кремнії / В. Г. Литовченко, В. М. Насєка, А. А. Євтух // Український фізичний журнал. - 2012. - Т. 57, № 1. - С. 76-82. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2012_57_1_13 Розглянуто особливості гетерування рекомбінаційно-активних домішок у полікристалічному кремнії за допомогою методу, що включає послідовне формування шару пористого кремнію товщиною 0,5 - 2 мкм на зворотному боці кремнієвої пластини, осадження шару алюмінію товщиною 0,5 - 1 мкм і термічний відпал за температури 700 - 950 за Цельсієм протягом від 30 до 60 хв. Запропоновано модель гетерування даним методом, яка включає дифузію атомів заліза по двох найбільш імовірних незалежних каналах - в об'ємі пластини та по межах зерен. Із зіставлення результатів моделі з експериментальними даними встановлено, що 30 % атомів відгетерованої домішки дифундують прискорено по межах зерен, а 70 % - в об'ємі зерен. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Литовченко В. Г. Двоканальне гетерування рекомбінаційно-активної домішки в сонячному полікристалічному кремнії / В. Г. Литовченко, В. М. Насєка, А. А. Євтух // Український фізичний журнал. - 2012. - Т. 57, № 1. - С. 76-82. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UPhJ_2012_57_1_13.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |