Ellipsometric studies of nanocrystalline silicon films with the thicknesses less than 100 nm

Buchenko, V. V.; Goloborodko, A. A.


	Наукова періодика України		Ukrainian journal of physical optics

Buchenko V. V.
Ellipsometric studies of nanocrystalline silicon films with the thicknesses less than 100 nm / V. V. Buchenko, A. A. Goloborodko // Ukrainian journal of physical optics. - 2016. - Vol. 17, № 3. - С. 124-131. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UJPO_2016_17_3_7

Повний текст PDF - 1.019 Mb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Buchenko V.

Goloborodko A.

Бібліографічний опис для цитування:

Buchenko V. V. Ellipsometric studies of nanocrystalline silicon films with the thicknesses less than 100 nm / V. V. Buchenko, A. A. Goloborodko // Ukrainian journal of physical optics. - 2016. - Vol. 17, № 3. - С. 124-131. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/UJPO_2016_17_3_7.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача