Наукова періодика України | Технология приборостроения | ||
Филипенко О. І. Методи контролю структур топології поверхонь матеріалів виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС / О. І. Филипенко, О. О. Чала, Ю. В. Бондаренко // Технология приборостроения. - 2018. - № 1. - С. 3-7. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Tp_2018_1_2 Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Филипенко О. І. Методи контролю структур топології поверхонь матеріалів виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС / О. І. Филипенко, О. О. Чала, Ю. В. Бондаренко // Технология приборостроения. - 2018. - № 1. - С. 3-7. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Tp_2018_1_2.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |