Наукова періодика України Технология приборостроения

Невлюдов И. Ш. 
Прибор для контроля температурных режимов операции травления кремниевой подложки / И. Ш. Невлюдов, В. В. Евсеев, В. О. Бортникова, Д. О. Гаркавенко // Технология приборостроения. - 2016. - № 2. - С. 28-31. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Tp_2016_2_9
  Повний текст PDF - 506.573 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Невлюдов И.
  • Евсеев В.
  • Бортникова В.
  • Гаркавенко Д.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Невлюдов И. Ш. Прибор для контроля температурных режимов операции травления кремниевой подложки / И. Ш. Невлюдов, В. В. Евсеев, В. О. Бортникова, Д. О. Гаркавенко // Технология приборостроения. - 2016. - № 2. - С. 28-31. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Tp_2016_2_9.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського