Оптимизация технологии Si-затравок для производства поликристаллического кремния

Реков, Ю. В.


	Наукова періодика України		Technology audit and production reserves

Реков Ю. В.
Оптимизация технологии Si-затравок для производства поликристаллического кремния / Ю. В. Реков // Технологічний аудит та резерви виробництва. - 2012. - № 3(1). - С. 15-16. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Tatrv_2012_3%281%29__8

Повний текст PDF - 663.413 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Реков Ю.

Бібліографічний опис для цитування:

Реков Ю. В. Оптимизация технологии Si-затравок для производства поликристаллического кремния / Ю. В. Реков // Технологічний аудит та резерви виробництва. - 2012. - № 3(1). - С. 15-16. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Tatrv_2012_3(1)__8.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Реков Юрій Васильович (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача