Гришкевич А. Д.
Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием / А. Д. Гришкевич // Техническая механика. - 2013. - № 2. - С. 109-115. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TMekh_2013_2_16
Для нанесения наноструктурированных покрытий на внутренние поверхности разработана оригинальная конструкция несбалансированной цилиндрической магнетронной распылительной системы. Разработанная конструкция характеризуется простотой и возможностью выполнения всех технологических переходов ионно-плазменной обработки в одном вакуумном цикле. Расчетными и экспериментальными методами исследована структура магнитного поля в распылительной системе. Определены рабочие режимы предварительной ионной обработки и наноструктурирования покрытия способом ионного ассистирования. Результаты можно использовать при проектировании технологии и технологических устройств нанесения функциональных покрытий на внутренние поверхности пар трения типа цилиндр - поршень, работающих в условиях повышенного коррозионного и абразивного износа.
Цитованість авторів публікації:Гришкевич А.
Бібліографічний опис для цитування:
Гришкевич А. Д. Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием / А. Д. Гришкевич // Техническая механика. - 2013. - № 2. - С. 109-115. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TMekh_2013_2_16.
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)Гришкевич Олександр Дмитрович (технічні науки)
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити
"Анкету науковця"
|