Гришкевич А. Д. 
Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием / А. Д. Гришкевич // Техническая механика. - 2013. - № 2. - С. 109-115. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TMekh_2013_2_16
Для нанесения наноструктурированных покрытий на внутренние поверхности разработана оригинальная конструкция несбалансированной цилиндрической магнетронной распылительной системы. Разработанная конструкция характеризуется простотой и возможностью выполнения всех технологических переходов ионно-плазменной обработки в одном вакуумном цикле. Расчетными и экспериментальными методами исследована структура магнитного поля в распылительной системе. Определены рабочие режимы предварительной ионной обработки и наноструктурирования покрытия способом ионного ассистирования. Результаты можно использовать при проектировании технологии и технологических устройств нанесения функциональных покрытий на внутренние поверхности пар трения типа цилиндр - поршень, работающих в условиях повышенного коррозионного и абразивного износа.
  Повний текст PDF - 713.834 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Гришкевич А.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Гришкевич А. Д. Цилиндрическая магнетронная распылительная система с ионным ассистированием / А. Д. Гришкевич // Техническая механика. - 2013. - № 2. - С. 109-115. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TMekh_2013_2_16.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Гришкевич Олександр Дмитрович (технічні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського