Наукова періодика України Технологія та конструювання в електронній апаратурі

Спирин В. Г. 
Микросборка на кремниевой плате для акселерометра / В. Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2013. - № 5. - С. 24-27. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TKEA_2013_5_6
Рассмотрена конструкция и технология микросборки для акселерометра, выполненной на кремниевой плате с тремя уровнями коммутации и тонкопленочными резисторами на обеих ее поверхностях.Розглянуто конструкцію і технологію мікроскладання для акселерометра, виконаної на кремнієвій платі, з трьома рівнями комутації та тонкоплівковими резисторами на обох її поверхнях.The paper presents microassembly design and technology for accelerometer, carried out on a silicon plate with three commutation levels and thin film resistors on both of its surfaces.
  Повний текст PDF - 353.246 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Спирин В.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Спирин В. Г. Микросборка на кремниевой плате для акселерометра / В. Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2013. - № 5. - С. 24-27. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TKEA_2013_5_6.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського