Наукова періодика України Технологія та конструювання в електронній апаратурі


Борисенко А. Г. 
Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники / А. Г. Борисенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2013. - № 4. - С. 37-41. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TKEA_2013_4_9
Описан источник потоков плазмы твердофазных материалов, генерируемых вакуумно-дуговым разрядом в парах диффузно испаряемого анода. Источник способен эффективно создавать бескапельные потоки плазмы различных металлов в вакууме, а при напуске в вакуумную камеру необходимых рабочих газов - потоки газовой и газометаллической плазмы. Приведены основные характеристики разряда и параметры создаваемых плазменных потоков, имеющих компенсированный объемный заряд. Источник может быть использован для нанесения островковых и тонких металлических пленок на подложки из различных материалов, в том числе и диэлектрических.The paper describes the source of solid-phase materials plasma flow generated by vacuum-arc discharge in vapors of diffuse evaporated anode. The source can efficiently create macroparticle-free plasma flows of various metals in vacuum, and provided the vacuum chamber is filled with required working gases, the source creates gas and gas-metal plasma flows. The main characteristics of the discharge and the parameters of the plasma flows with compensated volume charge are presented. The source can be used for application of island and thin metal films on substrates of different materials, including dielectrics.
  Повний текст PDF - 418.66 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Борисенко А.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Борисенко А. Г. Источник бескапельных плазменных потоков для наноэлектроники / А. Г. Борисенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2013. - № 4. - С. 37-41. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TKEA_2013_4_9.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського