Наукова періодика України Технологія та конструювання в електронній апаратурі


Полозов Б. П. 
Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей / Б. П. Полозов, О. А. Федорович, В. Н. Голотюк, А. А. Мариненко, Д. В. Лукомский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2006. - № 2. - С. 52-55. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TKEA_2006_2_15
  Повний текст PDF - 739.415 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Полозов Б.
  • Федорович О.
  • Голотюк В.
  • Мариненко А.
  • Лукомский Д.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Полозов Б. П. Влияние плазмохимического травления на структуру поверхности кремниевых пластин фотоэлектрических преобразователей / Б. П. Полозов, О. А. Федорович, В. Н. Голотюк, А. А. Мариненко, Д. В. Лукомский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. - 2006. - № 2. - С. 52-55. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/TKEA_2006_2_15.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського