Исследование физических процессов нанесения цинка из паро-газовой фазы в вакууме

Зимогляд, А. Ю.; Гуда, А. И.; Ковтун, В. В.


	Наукова періодика України		Сучасні проблеми металургії

Зимогляд А. Ю.
Исследование физических процессов нанесения цинка из паро-газовой фазы в вакууме / А. Ю. Зимогляд, А. И. Гуда, В. В. Ковтун // Сучасні проблеми металургії. - 2018. - № 21(1). - С. 3-6. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Spm_2018_21%281%29__3

Произведено ряд замеров сопротивления металлических пленок, полученных при напылении в вакууме. И из этих замеров сопротивления была получена толщина пленок с привязкой к времени нанесения.

Повний текст PDF - 320.133 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Зимогляд А.

Гуда А.

Ковтун В.

Бібліографічний опис для цитування:

Зимогляд А. Ю. Исследование физических процессов нанесения цинка из паро-газовой фазы в вакууме / А. Ю. Зимогляд, А. И. Гуда, В. В. Ковтун // Сучасні проблеми металургії. - 2018. - № 21(1). - С. 3-6. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Spm_2018_21(1)__3.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Зимогляд Андрій Юрійович (технічні науки)

Ковтун Віталій Васильович (технічні науки)

Ковтун Володимир Васильович (технічні науки)

Ковтун В'ячеслав Васильович (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача