Наукова періодика України Сучасні проблеми металургії

Шварцман Л. Я. 
Процесс водородного восстановления трихлорсилана в многостержневых реакторах получения поликристаллического кремния – новые возможности управления для традиционных технологий / Л. Я. Шварцман, Э. А. Троценко, Е. В. Баженов, В. Н. Додонов // Сучасні проблеми металургії. - 2014. - № 17. - С. 84-92. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Spm_2014_17_11
Выполнен анализ параметров управления процессом водородного восстановления трихлорсилана в "Siemens-Реакторе". Предложен новый подход к решению задачи управления процессом с оптимизацией по критерию "скорость осаждения кремния". Предложен способ определения управляемого параметра, устраняющий увеличение абсолютной ошибки измерения по мере ведения процесса.
  Повний текст PDF - 3.917 Mb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Шварцман Л.
  • Троценко Э.
  • Баженов Е.
  • Додонов В.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Шварцман Л. Я. Процесс водородного восстановления трихлорсилана в многостержневых реакторах получения поликристаллического кремния – новые возможности управления для традиционных технологий / Л. Я. Шварцман, Э. А. Троценко, Е. В. Баженов, В. Н. Додонов // Сучасні проблеми металургії. - 2014. - № 17. - С. 84-92. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Spm_2014_17_11.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського