Проведен анализ изменения фазового состава специальных износостойких монослойных ионно-плазменных титановых покрытий. Показано, что формирование этого типа покрытий происходит в соответствии с диаграммой состояния. Повышение давления азота при воздействии на поверхность плазмы Тi приводит к образованию фазы delta-TiN; epsilon-Ti2N с тетрагональной решеткой и delta-TiN фазы с решеткой типа NaCI. Установлено, что alpha-Ti имеет бестекстурный характер при низком опорном напряжении, увеличение напряжения приводит к однокомпонентной текстуре (1011), интенсивность которой зависит от толщины покрытия.

  Повний текст PDF - 281.305 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"