Наукова періодика України | Поверхня | ||
Гаврилюк О. О. Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx / О. О. Гаврилюк, О. Ю. Семчук // Поверхность. - 2013. - Вып. 5. - С. 69-82. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Pov_2013_5_9 За літературними даними розглянуто останні досягнення в області створення технологій отримання кремнієвих нанокристалів і нанокомпозитних плівок, що містять нанокристали кремнію в діелектричній матриці. Особливу увагу приділено двом найбільш перспективним методам - температурному та лазерному відпалу нестехіометричних плівок SiO Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Гаврилюк О. О. Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx / О. О. Гаврилюк, О. Ю. Семчук // Поверхность. - 2013. - Вып. 5. - С. 69-82. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Pov_2013_5_9.Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |