Наукова періодика України Поверхня


Гаврилюк О. О. 
Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx / О. О. Гаврилюк, О. Ю. Семчук // Поверхность. - 2013. - Вып. 5. - С. 69-82. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Pov_2013_5_9
За літературними даними розглянуто останні досягнення в області створення технологій отримання кремнієвих нанокристалів і нанокомпозитних плівок, що містять нанокристали кремнію в діелектричній матриці. Особливу увагу приділено двом найбільш перспективним методам - температурному та лазерному відпалу нестехіометричних плівок SiOx. Проведено теоретичне дослідження теплофізичних властивостей нестехіометричних плівок SiOx. Розрахований розподіл температури на поверхні плівок SiOx, опроміненних лазерним променем з різною інтенсивністю. Показано, що при лазерному відпалі з інтенсивністю лазерного променя 59 МВт/м<^>2 температура на поверхні плівок SiOx може досягати 2100 К.
  Повний текст PDF - 922.057 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Гаврилюк О.
  • Семчук О.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Гаврилюк О. О. Температурний та лазерний відпал нестехіометричних плівок SiOx / О. О. Гаврилюк, О. Ю. Семчук // Поверхность. - 2013. - Вып. 5. - С. 69-82. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Pov_2013_5_9.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Гаврилюк Олександр Олександрович (1989–) (фізико-математичні науки)
  • Семчук Олександр Юрійович (1950–) (фізико-математичні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського