Полирование элементов и подложек из монокристаллических материалов для оптоэлектроники

Филатов, Ю. Д.; Сидорко, В. И.; Филатов, А. Ю.; Ковалев, С. В.; Ветров, А. Г.; Сильченко, Я. Л.; Ковалев, В. А.; Данильченко, М. А.


	Наукова періодика України		Процеси механічної обробки в машинобудуванні

Филатов Ю. Д.
Полирование элементов и подложек из монокристаллических материалов для оптоэлектроники / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, А. Ю. Филатов, С. В. Ковалев, А. Г. Ветров, Я. Л. Сильченко, В. А. Ковалев, М. А. Данильченко // Процеси механічної обробки в машинобудуванні. - 2015. - Вип. 15. - С. 132-138. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Pmom_2015_15_13

Повний текст PDF - 360.88 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Филатов Ю. Д. Полирование элементов и подложек из монокристаллических материалов для оптоэлектроники / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, А. Ю. Филатов, С. В. Ковалев, А. Г. Ветров, Я. Л. Сильченко, В. А. Ковалев, М. А. Данильченко // Процеси механічної обробки в машинобудуванні. - 2015. - Вип. 15. - С. 132-138. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Pmom_2015_15_13.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Данильченко Марія Андріївна (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача