Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния

Филатов, Ю. Д.; Сидорко, В. И.; Прихна, Т. А.; Филатов, А. Ю.; Боримский, А. И.; Ковалев, С. В.; Куцай, А. М.; Ветров, А. Г.; Полторацкий, В. Г.


	Наукова періодика України		Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент - техника и технология его изготовления и применения

Филатов Ю. Д.
Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, Т. А. Прихна, А. Ю. Филатов, А. И. Боримский, С. В. Ковалев, А. М. Куцай, А. Г. Ветров, В. Г. Полторацкий // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент - техника и технология его изготовления и применения. - 2014. - Вып. 17. - С. 476-482. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Pimi_2014_17_76

Повний текст PDF - 1.034 Mb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Филатов Ю. Д. Полирование плоских прецизионных поверхностей элементов оптико-электронной техники из монокристаллического карбида кремния / Ю. Д. Филатов, В. И. Сидорко, Т. А. Прихна, А. Ю. Филатов, А. И. Боримский, С. В. Ковалев, А. М. Куцай, А. Г. Ветров, В. Г. Полторацкий // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент - техника и технология его изготовления и применения. - 2014. - Вып. 17. - С. 476-482. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Pimi_2014_17_76.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Пріхна Тетяна Олексіївна (1957–) (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача