Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення

Соколюк, Д. В.; Куцай, О. М.; Старик, С. П.; Ткач, В. М.; Стаценко, О. О.; Білорусець, В. В.


	Наукова періодика України		Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент - техника и технология его изготовления и применения

Соколюк Д. В.
Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення / Д. В. Соколюк, О. М. Куцай, С. П. Старик, В. М. Ткач, О. О. Стаценко, В. В. Білорусець // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент - техника и технология его изготовления и применения. - 2014. - Вып. 17. - С. 336-339. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Pimi_2014_17_55

Повний текст PDF - 793.682 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Соколюк Д. В. Елементний склад та структурні характеристики плівкових структур на основі карбіду кремнію, отриманих методом магнетронного розпилення / Д. В. Соколюк, О. М. Куцай, С. П. Старик, В. М. Ткач, О. О. Стаценко, В. В. Білорусець // Породоразрушающий и металлообрабатывающий инструмент - техника и технология его изготовления и применения. - 2014. - Вып. 17. - С. 336-339. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Pimi_2014_17_55.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Куцай Олександр Михайлович (технічні науки)

Старик Сергій Петрович (технічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача