Мета роботи - розробка технології та характеризації кремнієвих наноструктур в поєднанні з покриттям оксидами металів для різних застосувань в біосенсориці та сонячній енергетиці. Описано спосіб неелектролітичного травлення, модифікованого використанням шару наносфер на підкладці, сформованого за допомогою методу поверхневого центрифугування. Метод атомно-шарового осадження, який використовувався для формування оксидів на наноструктурах, продемонстрував утворення рівномірного шару і не залежить від геометрії підкладки, тому його можна застосовувати як для плоских зразків, так і для підкладок з тривимірною структурою та пористими шарами.

  Повний текст PDF - 232.309 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"