Бібліографічний опис для цитування:
Губарев А. А. Влияние распределения рассеяний выбитых атомов в каскаде столкновений на формирование рельефа при облучении аморфной мишени Si ионами Ar c энергией 1 кэВ / А. А. Губарев // Фізична інженерія поверхні. - 2013. - Т. 11, № 1. - С. 46-62. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2013_11_1_7.Відділ інформаційно-комунікаційних технологій |
Пам`ятка користувача |
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |