Синтез алмаза в СВЧ плазме: оборудование, пленки, применение

Волков, Ю. Я.; Стрельницкий, В. Е.; Ушаков, В. А.


	Наукова періодика України		Фізична інженерія поверхні

Волков Ю. Я.
Синтез алмаза в СВЧ плазме: оборудование, пленки, применение / Ю. Я. Волков, В. Е. Стрельницкий, В. А. Ушаков // Фізична інженерія поверхні. - 2013. - Т. 11, № 1. - С. 26-45. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2013_11_1_6

Повний текст PDF - 1.081 Mb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Волков Ю.

Стрельницкий В.

Ушаков В.

Бібліографічний опис для цитування:

Волков Ю. Я. Синтез алмаза в СВЧ плазме: оборудование, пленки, применение / Ю. Я. Волков, В. Е. Стрельницкий, В. А. Ушаков // Фізична інженерія поверхні. - 2013. - Т. 11, № 1. - С. 26-45. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2013_11_1_6.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача