Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления

Погребняк, А. Д.; Мухаммед, А. К. М.; Иващенко, М. Н.; Опанасюк, Н. Н.; Суджанская, И. В.


	Наукова періодика України		Фізична інженерія поверхні

Погребняк А. Д.
Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления / А. Д. Погребняк, А. К. М. Мухаммед, М. Н. Иващенко, Н. Н. Опанасюк, И. В. Суджанская // Фізична інженерія поверхні. - 2012. - Т. 10, № 2. - С. 177-182. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2012_10_2_7

Повний текст PDF - 384.836 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Погребняк А. Д. Структурные исследования пленок оксида цинка и нитрида алюминия, полученных методами CVD и магнетронного распыления / А. Д. Погребняк, А. К. М. Мухаммед, М. Н. Иващенко, Н. Н. Опанасюк, И. В. Суджанская // Фізична інженерія поверхні. - 2012. - Т. 10, № 2. - С. 177-182. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2012_10_2_7.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Опанасюк Надія Миколаївна (фізико-математичні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача