Наукова періодика України Фізична інженерія поверхні

Дудин С. В. 
Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур / С. В. Дудин // Фізична інженерія поверхні. - 2009. - Т. 7, № 3. - С. 171-194. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2009_7_3_4
  Повний текст PDF - 861.036 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Дудин С.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Дудин С. В. Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур / С. В. Дудин // Фізична інженерія поверхні. - 2009. - Т. 7, № 3. - С. 171-194. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2009_7_3_4.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського