Изучение свойств пленок сплава Si-Ge на пучке протонов, полученных методом CVD

Ковальчук, И. К.; Левенец, В. В.; Омельник, А. П.; Щур, А. А.; Широков, Б. М.


	Наукова періодика України		Фізична інженерія поверхні

Ковальчук И. К.
Изучение свойств пленок сплава Si-Ge на пучке протонов, полученных методом CVD / И. К. Ковальчук, В. В. Левенец, А. П. Омельник, А. А. Щур, Б. М. Широков // Фізична інженерія поверхні. - 2007. - Т. 5, № 3-4. - С. 197-202. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2007_5_3-4_10

Повний текст PDF - 310.982 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Ковальчук И. К. Изучение свойств пленок сплава Si-Ge на пучке протонов, полученных методом CVD / И. К. Ковальчук, В. В. Левенец, А. П. Омельник, А. А. Щур, Б. М. Широков // Фізична інженерія поверхні. - 2007. - Т. 5, № 3-4. - С. 197-202. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2007_5_3-4_10.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача