Наукова періодика України Фізична інженерія поверхні


Лисовский В. А. 
Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления / В. А. Лисовский // Фізична інженерія поверхні. - 2006. - Т. 4, № 3-4. - С. 143-168. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2006_4_3-4_4
  Повний текст PDF - 606.911 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Лисовский В.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Лисовский В. А. Диссоциативный режим ВЧ емкостного разряда низкого давления / В. А. Лисовский // Фізична інженерія поверхні. - 2006. - Т. 4, № 3-4. - С. 143-168. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2006_4_3-4_4.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського