Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках

Лисовский, В.; Бут, Ж.-П.; Ландри, K.; Дуэ, Д.; Ренар, Г.; Касань, В.


	Наукова періодика України		Фізична інженерія поверхні

Лисовский В.
Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / В. Лисовский, Ж.-П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, Г. Ренар, В. Касань // Фізична інженерія поверхні. - 2005. - Т. 3, № 1-2. - С. 70-78. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2005_3_1-2_9

Повний текст PDF - 303.171 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Лисовский В. Определение величины ВЧ напряжения на потенциальном электроде в сложных технологических газоразрядных установках / В. Лисовский, Ж.-П. Бут, K. Ландри, Д. Дуэ, Г. Ренар, В. Касань // Фізична інженерія поверхні. - 2005. - Т. 3, № 1-2. - С. 70-78. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2005_3_1-2_9.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача