Наукова періодика України Фізична інженерія поверхні

Фареник В. И. 
Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур / В. И. Фареник // Фізична інженерія поверхні. - 2004. - Т. 2, № 1-2. - С. 117-145. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2004_2_1-2_19
  Повний текст PDF - 942.505 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Фареник В.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Фареник В. И. Высокочастотные разряды низкого давления в технологии малоэнергоемкого вакуумно-плазменного травления микроструктур / В. И. Фареник // Фізична інженерія поверхні. - 2004. - Т. 2, № 1-2. - С. 117-145. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2004_2_1-2_19.
      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського