Simulation of the ignition of alow pressure rf capacitive discharge

Lisovskiy, V. A.; Booth, J.-P.


	Наукова періодика України		Фізична інженерія поверхні

Lisovskiy V. A.
Simulation of the ignition of alow pressure rf capacitive discharge / V. A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Фізична інженерія поверхні. - 2003. - Т. 1, № 1. - С. 34-36. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2003_1_1_7

Повний текст PDF - 421.191 Kb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Lisovskiy V.

Booth J.

Бібліографічний опис для цитування:

Lisovskiy V. A. Simulation of the ignition of alow pressure rf capacitive discharge / V. A. Lisovskiy, J.-P. Booth // Фізична інженерія поверхні. - 2003. - Т. 1, № 1. - С. 34-36. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/Phip_2003_1_1_7.

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача