Наукова періодика України Физика и техника высоких давлений


Misiuk A. 
Дефекты в Si:N, обработанном при высоких температурах и давлениях, проявляющиеся в результате травления в дейтериевой плазме / A. Misiuk, A. Barcz, A. Ulyashin, M. Prujszczyk, J. Bak-Misiuk, P. Formanek // Физика и техника высоких давлений. - 2010. - Т. 20, № 4. - С. 53-59. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhTVD_2010_20_4_6
  Повний текст PDF - 699.905 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Misiuk A.
  • Barcz A.
  • Ulyashin A.
  • Prujszczyk M.
  • Bak-Misiuk J.
  • Formanek P.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Misiuk A. Дефекты в Si:N, обработанном при высоких температурах и давлениях, проявляющиеся в результате травления в дейтериевой плазме / A. Misiuk, A. Barcz, A. Ulyashin, M. Prujszczyk, J. Bak-Misiuk, P. Formanek // Физика и техника высоких давлений. - 2010. - Т. 20, № 4. - С. 53-59. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhTVD_2010_20_4_6.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського