Наукова періодика України | Фізика і хімія твердого тіла | ||
Новосядлий С. П. Особливості формування багаторівневої металізації в субмікронних структурах великих інтегральних схем / С. П. Новосядлий, С. І. Бойко, М. В. Котик // Фізика і хімія твердого тіла. - 2016. - Т. 17, № 4. - С. 630-636. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2016_17_4_32 Проведено огляд сучасних алюмінієвих сплавів, які використовуються при формуванні багаторівневої металізації в субмікронних структурах ВІС/НВІС і магнітних сплавів, що використовуються для виготовлення магнітних дисків зовнішніх запам'ятовуючих пристроїв з досить великим об'ємом пам'яті для сучасних ЕОМ. Наведено характеристики магнетронів, що можна використовувати для напилення металізації: магнетронного розпилювального пристрою з магнітним блоком, що обертається охолоджувальною деіонізованою водою, який надає можливість значно підвищити ефективність розпилення мішені; магнетронного високочастотного пристрою УМВ-2,5 з магнітною системою, що сформована на електромагнітах зі скануванням магнітного поля; установки двостороннього магнетронного розпилення металевих мішеней типу УВН МДЕ.П-1250-012; двоярусного пристрою магнетронного формування багаторівневої контактної металізації на базі установки вакуумного напилення УРМ.3.279.05. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Новосядлий С. П. Особливості формування багаторівневої металізації в субмікронних структурах великих інтегральних схем / С. П. Новосядлий, С. І. Бойко, М. В. Котик // Фізика і хімія твердого тіла. - 2016. - Т. 17, № 4. - С. 630-636. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2016_17_4_32. Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |