Вплив зміни концентрації C4H6O6 в складі композицій (NH4)2Cr2O7 -HBr -C4H6O6 на параметри хіміко-динамічного полірування напівпровідників типу AIIIBV

Левченко, І. В.; Стратійчук, І. Б.; Томашик, В. М.; Маланич, Г. П.


	Наукова періодика України		Фізика і хімія твердого тіла

Левченко І. В.
Вплив зміни концентрації C4H6O6 в складі композицій (NH4)2Cr2O7 -HBr -C4H6O6 на параметри хіміко-динамічного полірування напівпровідників типу AIIIBV / І. В. Левченко, І. Б. Стратійчук, В. М. Томашик, Г. П. Маланич // Фізика і хімія твердого тіла. - 2016. - Т. 17, № 4. - С. 604-610. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2016_17_4_28

Повний текст PDF - 3.777 Mb

Зміст випуску Google Scholar

Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:

Бібліографічний опис для цитування:

Левченко І. В. Вплив зміни концентрації C4H6O6 в складі композицій (NH4)2Cr2O7 -HBr -C4H6O6 на параметри хіміко-динамічного полірування напівпровідників типу AIIIBV / І. В. Левченко, І. Б. Стратійчук, В. М. Томашик, Г. П. Маланич // Фізика і хімія твердого тіла. - 2016. - Т. 17, № 4. - С. 604-610. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2016_17_4_28.

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

Левченко Ірина Валеріївна (хімічні науки)

Стратійчук Ірина Борисівна (хімічні науки)

Томашик Василь Миколайович (хімічні науки)

Маланич Галина Петрівна (хімічні науки)

Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"

Відділ інформаційно-комунікаційних технологій

Пам`ятка користувача