Наукова періодика України Фізика і хімія твердого тіла

Gavryliuk O. O. 
Theoretical and Experimental Investigations of Laser Annealing Non-Stoichiometric SiOx Films / O. O. Gavryliuk, O. Yu. Semchuk, B. V. Lytovchenko // Фізика і хімія твердого тіла. - 2015. - Т. 16, № 4. - С. 675-678. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2015_16_4_9
Досліджено розповсюдження температурних профілів і вплив температури на формування наночастинок кремнію в нестехіометричних плівках SiOx після лазерного відпалу. З залученням параболічного рівняння теплопровідності проведено математичне моделювання формування температурних профілів у нестехіометричній плівці SiOx після лазерного відпалу. Показано, що температура 1800 К на поверхні SiOx є достатньою для розділення речовини плівки на діоксид кремнію та його наночастинки. ІЧ-дослідження підтвердили таке розмежування.
  Повний текст PDF - 170.726 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Gavryliuk O.
  • Semchuk O.
  • Lytovchenko B.

    • Бібліографічний опис для цитування:

    Gavryliuk O. O. Theoretical and Experimental Investigations of Laser Annealing Non-Stoichiometric SiOx Films / O. O. Gavryliuk, O. Yu. Semchuk, B. V. Lytovchenko // Фізика і хімія твердого тіла. - 2015. - Т. 16, № 4. - С. 675-678. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2015_16_4_9.
    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Семчук Олександр Юрійович (1950–) (фізико-математичні науки)
    •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського