Вивчено вплив тиску кисню в камері осадження на структуру, морфологію, оптичні та електричні властивості легованих алюмінієм плівок ZnO, осаджених за допомогою методу пошарового росту (МПР) у магнетронному розпиленні (МР) на скляних підкладках. Проаналізовано вплив застосування традиційного одноетапного підходу та запропонованого МПР у МР на властивості плівок ZnO, легованих алюмінієм. Встановлено, що зі зменшенням тиску кисню в камері осадження покращується структура, збільшується пропускання в видимій області спектра випромінювання та зменшується питомий опір плівок ZnO:Al. Показано, що застосування МПР у МР надає можливість виростити прозорі провідні плівки ZnO:Al з вищими робочими параметрами, у порівнянні з плівками, сконденсованими традиційним підходом в МР. За допомогою МПР вирощено плівки ZnO:Al з електричним опором 6,1x10<^>-4 Ом-см і пропусканням у видимій області спектра випромінювання на рівні 95 %, що є перспективним для використання їх в приладах фотовольтаїки.

  Повний текст PDF - 544.853 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"