| Наукова періодика України |
| Фізика і хімія твердого тіла |
Бережанський Є. І. Нанотекстурування кремнію методом каталітичного хімічного травлення / Є. І. Бережанський, С. І. Нічкало, В. Ю. Єрохов, А. О. Дружинін // Фізика і хімія твердого тіла. - 2015. - Т. 16, № 1. - С. 140-144. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2015_16_1_24 Розглянуто метод каталітичного хімічного травлення (MacEtch) як один з ефективних способів структурування кремнієвої поверхні з можливістю ефективного управління геометричними параметрами структур та їх розподілом на поверхні підкладки. Надано технологію текстурування поверхні та одержано структуровані поверхні кремнію з регулярними та нерегулярними типами поверхонь. Дану технологію можна застосовувати для нанотекстурування поверхонь кремнієвих фотоелетричних перетворювачів. Запропоновано модель фотоелектричного перетворювача з кратероподібною текстурою поверхні кремнієвої пластини з підвищеним ккд. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Бережанський Є. І. Нанотекстурування кремнію методом каталітичного хімічного травлення / Є. І. Бережанський, С. І. Нічкало, В. Ю. Єрохов, А. О. Дружинін // Фізика і хімія твердого тіла. - 2015. - Т. 16, № 1. - С. 140-144. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2015_16_1_24. Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця" |
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |
|||||
