Результати досліджень формують цілісну картину деформацій набутих плівкою в процесі росту та післяростової обробки. За допомогою комплексного термодинамічного та кристалохімічного аналізу проведено оцінку наявності технологічних домішок в структурах LaGa:YIG/GGG, і вивчено їх вплив на структурну досконалість плівок; наведено результати відновлення з даних рентгенодифрактометричної тензометрії повного тензора деформацій і недіагональних елементів тензора дисторсії, які виникають в епітаксійній гетероструктурі в процесі вирощування та за подальшої технологічної обробки. Встановлено наявність значної анізотропії планарних механічних характеристик епітаксійних плівок, які виникають після їх порізки.

  Повний текст PDF - 209.187 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"