Наукова періодика України | Фізика і хімія твердого тіла | ||
Новосядлий С. П. Моделі напівізолюючих шарів арсеніду галію при їх формуванні багатозарядною іонною імплантацією / С. П. Новосядлий, С. М. Марчук, В. М. Варварук, Л. В. Мельник // Фізика і хімія твердого тіла. - 2014. - Т. 15, № 4. - С. 872-878. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2014_15_4_33 Розроблено технологію багатозарядної імплантації домішок, які надають можливість формувати латеральні та вертикальні ізолюючі шари. Проведено експериментальні дослідження щодо створення високоомних і термостабільних ізолюючих шарів в іонно-легованих n+-n--i-структурах на напівізолювальному GaAs. Цитованість авторів публікації: Бібліографічний опис для цитування: Новосядлий С. П. Моделі напівізолюючих шарів арсеніду галію при їх формуванні багатозарядною іонною імплантацією / С. П. Новосядлий, С. М. Марчук, В. М. Варварук, Л. В. Мельник // Фізика і хімія твердого тіла. - 2014. - Т. 15, № 4. - С. 872-878. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2014_15_4_33. Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського |