Наукова періодика України Фізика і хімія твердого тіла


Новосядлий С. П. 
Моделі напівізолюючих шарів арсеніду галію при їх формуванні багатозарядною іонною імплантацією / С. П. Новосядлий, С. М. Марчук, В. М. Варварук, Л. В. Мельник // Фізика і хімія твердого тіла. - 2014. - Т. 15, № 4. - С. 872-878. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2014_15_4_33
Розроблено технологію багатозарядної імплантації домішок, які надають можливість формувати латеральні та вертикальні ізолюючі шари. Проведено експериментальні дослідження щодо створення високоомних і термостабільних ізолюючих шарів в іонно-легованих n+-n--i-структурах на напівізолювальному GaAs.
  Повний текст PDF - 320.787 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Новосядлий С.
  • Марчук С.
  • Варварук В.
  • Мельник Л.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Новосядлий С. П. Моделі напівізолюючих шарів арсеніду галію при їх формуванні багатозарядною іонною імплантацією / С. П. Новосядлий, С. М. Марчук, В. М. Варварук, Л. В. Мельник // Фізика і хімія твердого тіла. - 2014. - Т. 15, № 4. - С. 872-878. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2014_15_4_33.

      Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського