Наукова періодика України Фізика і хімія твердого тіла


Воробець М. М. 
Вплив фінішної хімічної обробки поверхні кремнієвих пластин на десорбцію іонів Ag+, Fe3+, Ca2+ / М. М. Воробець // Фізика і хімія твердого тіла. - 2014. - Т. 15, № 1. - С. 169-172. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2014_15_1_26
Досліджено вплив способів фінішної хімічної обробки Si-поверхні на процес формування анодуванням поруватого кремнію та його властивості. Показано, що обробка в розчині <$Eroman {NH sub 4 OH ":" H sub 2 O sub 2 ":" H sub 2 O}> призводить до формування шару мікро- чи мезопоруватого кремнію, а в розчині <$Eroman {HNO sub 3 ":" H sub 2 O sub 2 ":" H sub 2 O}> чи <$Eroman {HCl ":" H sub 2 O sub 2 ":" H sub 2 O}> - макропоруватого кремнію. Виявлено можливість формування поруватого кремнію у паровій фазі <$Eroman {HF ":" C sub 2 H sub 5 OH ":" H sub 2 O}>, запропоновано спосіб формування поверхнево пасивованого поруватого кремнію шляхом зміни полярності Si-електроду в момент завершення анодування. Створено поруватий CdTe методом анодного розчинення кристалів CdTe в <$Eroman {HNO sub 3 ":" HF ":" H sub 2 O}> чи <$Eroman {HNO sub 3 ":" HCl}>. Досліджено деякі аспекти впливу фінішної хімічної обробки CdTe в <$Eroman {Br sub 2 ":" CH sub 3 OH}>, легуючих домішок Cl, As, Zn, дефектної підсистеми кристалу на цей процес та електронні й оптичні властивості сформованих поруватих шарів. Встановлено, що під час анодування кристалів CdTe процес пороутворення визначається конкуруючим впливом хімічного й електрохімічного розчинення напівпровідника та пояснюється моделями, характерними для поруватих напівпровідників групи <$Eroman A sup 3 B sup 5> та кремнію. З'ясовано, що поруватий <$Eroman CdTe ":" Cl>, сформований анодуванням, має фотолюмінесцентні властивості у видимій області спектра.Досліджено ефективність різних варіантів фінішної хімічної обробки (ФХО), яку застосовують для зменшення неконтрольованого технологічного забруднення поверхні Si-пластин. Показниками якісного та кількісного оцінювання ефективності ФХО обрано величини зміни контактної різниці потенціалів (КРП), роботи виходу електронів і поверхневого опору. Експериментально встановлено, що адсорбція іонів Fe<^>3+ і Ca<^>2+ призводить до зменшення, а іонів Ag<^>+ - до збільшення величини КРП. Показано, що у випадку обробки Si-пластин в амоніачно-пероксидних розчинах (АПР) ступінь десорбції іонів феруму не перевищує 40 %, тоді як іони Ag<^>+ десорбуються повністю. Введення в АПР калій гідроксиду, обробка в кислотно-пероксидних розчинах (КПР) або комбінована обробка в АПР + КПР збільшують ступінь десорбції іонів Fe<^>3+ до 100 %. Десорбція іонів Ca<^>2+ відбувається з меншою ефективністю, ніж іонів Fe<^>3+ і Ag<^>+.
  Повний текст PDF - 124.652 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

Цитованість авторів публікації:
  • Воробець М.

  • Бібліографічний опис для цитування:

    Воробець М. М. Вплив фінішної хімічної обробки поверхні кремнієвих пластин на десорбцію іонів Ag+, Fe3+, Ca2+ / М. М. Воробець // Фізика і хімія твердого тіла. - 2014. - Т. 15, № 1. - С. 169-172. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/PhKhTT_2014_15_1_26.

    Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
    (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  • Воробець Марія Михайлівна (хімічні науки)
  •   Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
     
    Відділ інформаційно-комунікаційних технологій
    Пам`ятка користувача

    Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського