Досліджено ефективність різних варіантів фінішної хімічної обробки (ФХО), яку застосовують для зменшення неконтрольованого технологічного забруднення поверхні Si-пластин. Показниками якісного та кількісного оцінювання ефективності ФХО обрано величини зміни контактної різниці потенціалів (КРП), роботи виходу електронів і поверхневого опору. Експериментально встановлено, що адсорбція іонів Fe<^>3+ і Ca<^>2+ призводить до зменшення, а іонів Ag<^>+ - до збільшення величини КРП. Показано, що у випадку обробки Si-пластин в амоніачно-пероксидних розчинах (АПР) ступінь десорбції іонів феруму не перевищує 40 %, тоді як іони Ag<^>+ десорбуються повністю. Введення в АПР калій гідроксиду, обробка в кислотно-пероксидних розчинах (КПР) або комбінована обробка в АПР + КПР збільшують ступінь десорбції іонів Fe<^>3+ до 100 %. Десорбція іонів Ca<^>2+ відбувається з меншою ефективністю, ніж іонів Fe<^>3+ і Ag<^>+.

  Повний текст PDF - 124.652 Kb    Зміст випуску     Цитування публікації

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"